VHP過氧化氫低溫等離子空間滅菌器主要應用于臨床的醫療材質和幾何形狀都符合要求的器材，只要按照要求進行使用，該滅菌柜就能恒定地達到10-6SAL的滅菌水平。過氧化氫低溫等離子滅菌器既可對金屬醫療器械進行低溫滅菌，也可對非金屬醫療器械進行低溫滅菌。通過過氧化氫在艙室內擴散，然后將過氧化氫“激勵”成等離子體狀態，對醫療器械進行滅菌。過氧化氫蒸汽通過與等離子體結合，可對醫用器械和材料安全、迅速滅菌，不留任何毒性殘余。滅菌過程的各階段都是在干燥的低溫環境下運行，因此不會損壞對熱或水汽敏感的器械，對金屬和非金屬器械都適用，并能對諸如止血鉗鉸鏈等難以到達（不易擴散）的器械部位進行滅菌。最早引入等離子滅菌技術的是美國強生公司，目前國內的生產廠家如北京凱斯普、成都老肯、山東新華等都是極具知名度的。過氧化氫等離子體是1990年代開始面世的一項新低溫滅菌技術。等離子體被認為是液態、氣態、固態之外的第四種狀態，是氣體分子在極度真空的腔體內受激發而形成的。過氧化氫等離子體滅菌，具有滅菌循環時間短，徹底分解終產物毒性低的優勢。然而由于考慮到Mycobacteria tuberculosis污染的問題，美國FDA至今沒有批準采用擴散增強器（diffusion enhancer）來解決過氧化氫蒸汽穿透長而窄的管腔物品困難的問題。

    優點：快速殺菌作用 H?O?易分解,沒有排氣時間，物品周轉快最后的分解產物無毒（理論上）沒有安裝要求,沒有通風管道

    缺點：穿透性差,有器械有嚴格的管腔長度,管腔大小的限制滅菌機制為氧化反應,對器械的材質有嚴格的限制成本昂貴滅菌時器械絕對干燥、不能上油過氧化氫的毒性、以及在等離子過程中產生的紫外線的危害不能使用等離子滅菌的物品：任何的帶盲端、半盲端管腔的器械Any device with dead endlumens 由纖維材料制造的物品（如棉布，紙，紗布等）Cellulose based materials (i.e. cotton, paper, gauze) 液體Liquids 不能滿足官腔長度和細度限制的器械Items that do not meet thelumen/length criteria 由纖維材料制成的器械盒Any organizing trays thatcontain cellulose based materials. 布墊Count sheets (unless Tyvek/plastic) 傳統的帶粘膠的標簽Traditional adhesive labels(i.e. Dust Cover labels) 任何含有金屬銅材質管腔或者銅合金材質（如：蒙乃爾銅-鎳合金）管腔的器械；任何沒有完全干燥的器材或者器械；任何的帶盲端官腔的器械任何液體的滅菌；任何油劑，任何粉劑；任何液體吸收性材料或者帶有液體吸收性材料的器械或者器材；任何植物性纖維材質制造的器械或者器材，如棉布，布，紙，碳，纖維，紗布，棉球類等任何含有木漿材質（纖維素）的物品；紙類的器械目錄單或者日期標簽；制造商不建議重復滅菌使用的一次性器械，一次性醫療用品；植入物（除非制造商明確推薦使用Sterrad®滅菌系統）；任何尼龍材料或者尼龍材料源性材料嵌合表面的物品；任何不能經受真空過程的器械或者器材，和任何標記只能使用排氣式壓力蒸汽滅菌器滅菌的物品；任何可能出現表面塌陷，造成相互間緊貼的器械或者器材，除非有特殊方法避免這種情況發生；任何有內部構件，如封閉性軸承，的器械或者器材；任何管腔數據在管腔限制以內的器械或者器材； 

    物品材質限制：只有物品材質符合等離子滅菌要求才能采用該滅菌方法只有得到器械生產商的認可該器械可以使用等離子滅菌。